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正文 第七十一章 晶圆生产(第1页/共2页)

梁国威将余知远接到半导体所后,将出国进修的人员名单交给他确认。

同时对这些人员做了遍介绍和入选说明,也说了些这段时间来为进入名单发生的纷纷扰扰。

沉默了会,余知远问“你觉得我们要不要临时再增加些名额?”

梁国威马上劝阻的说“千万不要,那样到时闹出的事更多,这次就按你说的50个人吧。”

“好的,没问题,我到那边就交代人尽快给大家办理赴美手续,梁所长你到时做好人员从国内出发的事情就行”

余知远边说边将这份名单仔细的收好放进公文包,到时好交给赫夫曼处理。

有感于余知远对他的信任支持,梁国威高兴的一摆手招呼道“走,我们现在去院里,李老和董老他们在等着我俩到了再出发呢。”

两人赶到中科院里,与李老他们汇合出发去工厂,使用己组装好了的单晶炉生产晶圆。

对余知远所提供的新技术、新工艺、新设备进行测试验证。

一队汽车开到首都西山,在连绵山峰被白雪覆盖,苍茫一片雪白美景的某处山脚下的109厂晶圆分厂内,余知远和李老、董老,还有新加入的王老他们穿上静电服,在吹尘、吸尘设备物理上的接风洗尘洗礼后依次进入生产车间。

此时车间内的工作人员、厂领导见到大家进来后纷纷迎了过来对几人表示欢迎。

“怎么样?准备好了吗?”李老问其中的技术科长苗向华。

中年人的苗向华对曾经的老师回到“安装调试好了,按照生产要求还做了煅烧热场”

李老仔细的看了遍由有武汉无线电厂、45所、沪市科学仪器厂和常仪等单位通力合作,组织生产出来的新式单晶炉后,转头对苗向华交代“那就开始吧。”

“好的”

他走到炉前对就位的生产操作人员宣布“单晶棒生产开始。”

没有多久,各人员开始纷纷向他汇报。

“炉内坩埚部件正常”

“阀门开关正常”

“供电设备正常”

“机电热场部件正常”

“气体装置正常……”

员工每报一项,苗向华就在生产前的作业准备检查单上打勾。

等各项检查都正常,没有出现问题后,他指示将像冰块一样的多晶硅料做投料准备、抽取真空、氩气填充等生产步骤。

运行的单晶炉石墨加热器开始加温,加热功率从30千瓦升温开始,每半个小时增加30千瓦功率,两个半小时后功率便加到120多千瓦。

看了一下单晶炉上的指针温度表,又看了一下实验室带来的红外温度测量仪,两方显示的都是在1400多度轻微波动,李老带着喜悦的说“这情况很好啊,升温保温很稳定,热量流失也很小”

“想不到增加一个简单的热屏障装置就能带来这么好的效果”

他又到观察窗旁看了下硅晶料热熔情况,独自在那连连点头。

等到钨钢绳开始将籽晶放入炉内熔料中准备进行引晶时,周围的人都全神贯注的关注着这步非常重要的操作。

在以每分钟5毫米的速度旋转提升一个小时后,晶棒的缩颈、放肩、转肩的成型效果都非常好,晶棒开始进入等径生长中。

“啪啪啪”

不知道是谁第一个鼓掌,随后大家纷纷鼓掌庆祝起来。

余知远趁机对董老李老他们说“李老,董老、王老,你们先休息一下吧,要拉好还要五六多小时,等冷却取棒了我们再来吧。”

“没事没事,五六个小时等起来很快的,现在生长这么好,我要在这里一直看着它彻底结束”李老想都没想的拒绝。

董老和王老两人也表示按原来的设备和技术几天才能拉一根单晶棒,现在五六个小时对他们来说就一眨眼的功夫,完全不用担心他们身体吃不消。

旁边负责指挥操作的苗向华听后让人搬来凳子,给王老和余知远几人坐着边休息边等待。

见三位老科学家不等晶棒拉好不离开的决定,余知远便也坐下来与他们一起静静等待,不时也到观察窗前看炉内生长状态。

时间在等待中流逝,苗向华来到聊天的四人面前,汇报晶棒收尾完成,开始进入降功率、停炉冷却的操作。

李老第一个快步向单晶炉副室走去,急切的想看到拉好的晶棒。

看着副室内这根8米长,形状均匀,晶莹剔透的单晶棒,又到另一个炉的副室仔细看了后,他满脸激动神色对身边的余知远说“试验性的生产就能拉出这么好的,小余,你提供的技术真的太好了……”

等两个炉子拉出来的六寸单晶棒在失去炉内热量,没用太多时间便彻底冷却后,操作员便将晶棒用框架装好,卡钳夹住。

再从头部籽晶下部细颈处将晶棒小心钳断,稳定重锤后扶着晶棒稳稳的靠入框架内,单晶棒此时便算正式生产完成了。

接下来要做的便是对晶棒进行检测试验,拉好的这两根筋棒质量、品质在检测后便最终知晓。

此时不但李老、王老和董老他们急切的想知道检测结果。

就连余知远也都很想知道自己
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