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正文 第八十九章聘用(第1页/共2页)

光刻机从外头看上去就是一个铁皮箱子,仅有的一个观察窗,在真正进行光刻作业的时候,也看不到任何东西。

郝莽也只能在光刻机工作的时候,听到几声类似于手机摄像头打开时的杂音。

范红才耳朵几乎贴在了光刻机上,像是古代的医生进行着原始听诊一般。

“滋——”他的耳朵里听到了电流的杂音。

“这台机器使用的是紫外光源,光源用的是冷阴极低压汞灯。电流音听起来好像是直流管……”

随后,响起了光学模组矫正归位的“咔咔”声。

“一、二、三、四、五……至少有五组光学镜足,每组镜组应该至少有两枚镜片,镜片排列应该是尽可能追求对称的光路……”

接下来听到的声音,就是托着晶圆的托盘电机在工作的声音了,光源和镜头模组的声音,反倒是稳定了下来。

范红才支起来身,他这时才感觉到自己的老腰有些酸疼。

他没有着急下判断,而是等着光刻机工作完成,被加工的晶圆进入清洗和掺杂的工序,他才开口说道。

“这是一台使用紫外光源,对称光路的光刻机。用纯紫外光是因为自然光含有光谱波长不同,最后对晶圆上的光刻胶进行投影的时候,会加大误差。选择紫外光而不是其它波长的光,是因为紫外光含有的能量是所有光中最大的。”

“镜头模组采用的对称设计,如果我没有听错的话,每组的镜片至少有两个,尽可能增让紫外光聚焦的同时,又尽量让它们保持平行,不会产生过多的折射和散射,造成能量的浪费和光刻精度的降低。”

他抿着嘴思考了一下,“这台光刻机从这两个光学模块来说,我认为确实有机会达到一微米的光刻精度。”

他看向张铁心,“你觉得粗糙的地方在哪里呢?”

张铁心视线也从光刻机上收回来,他说道,“这台光刻机所使用的光源我拆下来过

,确实是汞灯没错,但是与我见过的汞灯相比,这台机器里的汞灯,只能用粗制滥造来形容。”

他也知道范红才没有拆过光刻机,不能光凭里头的部件说事,他说道,“除此之外,光学模组之间好像只有空气。我虽然在光学领域不专业,但是我想空气中的成分比较多也比较复杂,光在不同的介质中传播,应该也会产生一些偏差。”

他的手指在模仿光穿过不同介质时光路的模样,他说道,“如果能想办法填充单一气体或者抽真空,光刻机的精度是不是就能进一步提升?”www.net

范红才说道,“你说得是没错,最近最先进的光刻机论文,就有探讨这条技术路线。我也怀疑今年他们能在这么短的时间里,将光刻机从一微米的精度提升到零点八微米,改进方案用的就是填充气体。不过,填充哪种气体,压力如何,这些都需要仔仔细细地研究一番。”

范红才这时忽然问道,“郝厂长不知道您对于提高光刻机精度这件事情有什么看
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