光刻机从外头看上去就是一个铁皮箱子，仅有的一个观察窗，在真正进行光刻作业的时候，也看不到任何东西。

郝莽也只能在光刻机工作的时候，听到几声类似于手机摄像头打开时的杂音。

范红才耳朵几乎贴在了光刻机上，像是古代的医生进行着原始听诊一般。

“滋——”他的耳朵里听到了电流的杂音。

“这台机器使用的是紫外光源，光源用的是冷阴极低压汞灯。电流音听起来好像是直流管……”

随后，响起了光学模组矫正归位的“咔咔”声。

“一、二、三、四、五……至少有五组光学镜足，每组镜组应该至少有两枚镜片，镜片排列应该是尽可能追求对称的光路……”

接下来听到的声音，就是托着晶圆的托盘电机在工作的声音了，光源和镜头模组的声音，反倒是稳定了下来。

范红才支起来身，他这时才感觉到自己的老腰有些酸疼。

他没有着急下判断，而是等着光刻机工作完成，被加工的晶圆进入清洗和掺杂的工序，他才开口说道。

“这是一台使用紫外光源，对称光路的光刻机。用纯紫外光是因为自然光含有光谱波长不同，最后对晶圆上的光刻胶进行投影的时候，会加大误差。选择紫外光而不是其它波长的光，是因为紫外光含有的能量是所有光中最大的。”

“镜头模组采用的对称设计，如果我没有听错的话，每组的镜片至少有两个，尽可能增让紫外光聚焦的同时，又尽量让它们保持平行，不会产生过多的折射和散射，造成能量的浪费和光刻精度的降低。”

他抿着嘴思考了一下，“这台光刻机从这两个光学模块来说，我认为确实有机会达到一微米的光刻精度。”

他看向张铁心，“你觉得粗糙的地方在哪里呢？”

张铁心视线也从光刻机上收回来，他说道，“这台光刻机所使用的光源我拆下来过

，确实是汞灯没错，但是与我见过的汞灯相比，这台机器里的汞灯，只能用粗制滥造来形容。”

他也知道范红才没有拆过光刻机，不能光凭里头的部件说事，他说道，“除此之外，光学模组之间好像只有空气。我虽然在光学领域不专业，但是我想空气中的成分比较多也比较复杂，光在不同的介质中传播，应该也会产生一些偏差。”

他的手指在模仿光穿过不同介质时光路的模样，他说道，“如果能想办法填充单一气体或者抽真空，光刻机的精度是不是就能进一步提升？”www.net

范红才说道，“你说得是没错，最近最先进的光刻机论文，就有探讨这条技术路线。我也怀疑今年他们能在这么短的时间里，将光刻机从一微米的精度提升到零点八微米，改进方案用的就是填充气体。不过，填充哪种气体，压力如何，这些都需要仔仔细细地研究一番。”

范红才这时忽然问道，“郝厂长不知道您对于提高光刻机精度这件事情有什么看
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